Trung tâm Máy gia tốc EUV đã nhận được khoản tài trợ trị giá 825 triệu USD từ chính phủ Hoa Kỳ với mục tiêu chế tạo máy in thạch bản tia cực tím (EUV) để sản xuất chip.
Máy gia tốc EUV, được đặt tại Khu liên hợp công nghệ nano Albany ở New York, là cơ sở nghiên cứu và phát triển (R&D) đầu tiên của chương trình CHIPS for America. Đây là một phần của Đạo luật Khoa học và Chip năm 2022 do chính quyền Tổng thống Joe Biden ban hành nhằm khuyến khích hoạt động sản xuất chất bán dẫn quay trở lại Hoa Kỳ.
Bên trong hệ thống in thạch bản EUV. hình ảnh: ASML
Theo thông báo cuối tuần qua của Thượng nghị sĩ Chuck Schumer, phòng thí nghiệm sẽ có máy móc sản xuất chip hiện đại, cho phép các nhà nghiên cứu ngành bán dẫn làm việc với các đối tác đào tạo của trường đại học.
Schumer nói với các phóng viên: “Bằng cách tiến hành nghiên cứu cấp cao ở Hoa Kỳ, chúng tôi sẽ có thể tạo ra những con chip tiên tiến nhất trên thế giới và đảm bảo rằng quân đội có lợi thế”. sự giàu có. “Tất nhiên, điều này cũng đảm bảo rằng nền kinh tế và doanh nghiệp Hoa Kỳ có lợi thế về chất bán dẫn tiên tiến.”
Trước đây, chính phủ Mỹ đánh giá EUV là công nghệ quan trọng để sản xuất chip tiên tiến và cần làm chủ công nghệ này. Washington cũng tin rằng việc mua lại, nghiên cứu và phát triển EUV là cần thiết để mở rộng vai trò lãnh đạo của Hoa Kỳ, giảm thời gian và chi phí tạo nguyên mẫu cũng như xây dựng và duy trì hệ sinh thái lực lượng lao động bán dẫn.
Sau khi đi vào hoạt động, Máy gia tốc EUV dự kiến sẽ tập trung phát triển EUV khẩu độ số cao tiên tiến và nghiên cứu về các công nghệ dựa trên EUV khác. Trung tâm dự kiến sẽ cung cấp quyền truy cập vào tiêu chuẩn EUV NA vào năm tới và EUV High-NA vào năm 2026 cho các thành viên của Trung tâm Công nghệ Bán dẫn Quốc gia (NTSC) và tổ chức Natcast.
Bộ trưởng Thương mại Hoa Kỳ Gina Raimondo cho biết: “Thông qua trung tâm nghiên cứu EUV đầu tiên này, CHIPS for America cho phép NSTC tiếp cận các công cụ và nghiên cứu tiên tiến”. cột mốc quan trọng trong việc duy trì sự lãnh đạo toàn cầu trong lĩnh vực này.”
Hoa Kỳ hiện đang tập trung nhiều vào ngành công nghiệp bán dẫn. Vào tháng 2, chính quyền Biden đã công bố tài trợ cho công ty chip GlobalFoundries để thúc đẩy mở rộng công suất ở phía bắc Albany và Vermont. Vào tháng 4, Mỹ tiếp tục công bố khoản đầu tư 6,1 tỷ USD tài trợ cho Micron Technology sản xuất chip nhớ tiên tiến gần Syracuse, New York và Boise, Idaho.
Quang khắc là quá trình in mẫu mạch lên bề mặt cảm quang của tấm wafer silicon bằng cách chiếu ánh sáng lên tấm wafer silicon thông qua một đĩa thủy tinh có mẫu mạch được vẽ sẵn. Các mạch càng nhỏ thì nhu cầu về bước sóng ánh sáng càng ngắn, trong đó tia cực tím (EUV) là sự phát triển hiện đại nhất hiện nay.
Trong những năm gần đây, ASML của Hà Lan được coi là “nút cổ chai” trong sản xuất chất bán dẫn. Đây gần như là nhà cung cấp máy in thạch bản duy nhất, bao gồm cả máy sử dụng công nghệ in thạch bản nhúng DUV và tia cực tím EUV. Sản phẩm này đóng vai trò trung tâm trong cuộc cạnh tranh địa chính trị giữa Mỹ và Trung Quốc, khi Washington tìm mọi cách ngăn chặn Bắc Kinh tiếp cận các hệ thống này. Máy EUV High-NA tiên tiến nhất hiện nay đã được ASML bán với giá 380 triệu USD. Đầu năm nay, hãng đã chuyển chiếc máy đầu tiên cho Intel và chiếc máy thứ hai cho một “khách hàng không rõ danh tính”.
(theo Fortune, Viện Tiêu chuẩn và Công nghệ Quốc gia)
- ASML cung cấp máy sản xuất chip thứ hai trị giá 380 triệu USD
- Cỗ máy trị giá 380 triệu USD của ASML đạt cột mốc 'ánh sáng đầu tiên'
