ASML đang cung cấp hệ thống EUV High-NA thứ hai trên thế giới cho một khách hàng “không rõ danh tính”, được cho là TSMC.
Vào ngày 17 tháng 4, ASML cho biết họ đã bắt đầu vận chuyển các máy in thạch bản UV sử dụng công nghệ khẩu độ lớn High-NA EUV cho khách hàng. Đây là máy in thạch bản đầu tiên trên thế giới có hệ thống quang học trình chiếu khẩu độ kỹ thuật số (NA) tốt nhất hiện nay đạt 0,55 NA.
Vào cuối năm ngoái, ASML đã cung cấp mẫu EUV Twinscan EXE:5000 có khẩu độ số cao đầu tiên cho Intel. Hồi tháng 2, hãng chip Mỹ chia sẻ video máy đang được lắp ráp.
Christophe Fouquet, Giám đốc Kinh doanh tại ASML cho biết: “Đối với High-NA, tức là 0,55 NA EUV, chúng tôi đã giao hệ thống đầu tiên cho khách hàng của mình”. “Chúng tôi đã bắt đầu vận chuyển hệ thống thứ hai trong tháng này và việc lắp đặt sẽ sớm bắt đầu.”
Các kỹ sư ASML kiểm tra hệ thống quang khắc. hình ảnh: ASML
Fouquet từ chối cho biết khách hàng nào đã nhận được thiết bị thứ hai.Tuy nhiên, theo Phần cứng của TomCái tên khả dĩ nhất là TSMC, công ty gia công chip lớn nhất thế giới. Cả hai đã duy trì mối quan hệ hợp tác thân thiết trong nhiều năm. Reuters TSMC là cái tên khả dĩ nhất nhưng Samsung cũng là một khả năng lớn. Cả TSMC và Samsung trước đây đều công bố kế hoạch áp dụng hệ thống mới vào sản xuất chip.
Mỗi máy EUV NA cao có giá 380 triệu USD (928,1 triệu đồng) và nặng 150 tấn, tương đương với hai máy bay chở khách Airbus A320. Theo người phát ngôn ASML Monique Mols, quá trình vận chuyển, lắp đặt mỗi máy cần 250 thùng và 250 kỹ sư làm việc liên tục trong 6 tháng.
Theo Fouquet, hiện tại có rất nhiều khách hàng quan tâm đến EUV High-NA vì hệ thống có thể phục vụ tốt cho việc sản xuất chip logic, chip nhớ. Fouquet cho biết: “So với 0,33 NA, hệ thống 0,55 NA mang lại hiệu suất tốt hơn và gần gấp ba mật độ bóng bán dẫn, hỗ trợ các nút DRAM dưới 2nm và chip logic dưới 10nm”.
Ngoài Hight-NA, Fouquet cũng cho biết công ty đang khám phá động cơ in thạch bản Hyper-NA EUV thế hệ mới với hệ thống quang học chiếu có khẩu độ số lên tới 0,7 NA.
ASML vừa công bố kết quả tài chính quý 1 năm 2024 và kết quả không như mong đợi. Công ty đạt doanh thu 5,64 tỷ USD, giảm so với mức 7,73 tỷ USD cùng kỳ quý trước. Doanh số bán hệ thống in thạch bản của ASML cho khách hàng Trung Quốc chiếm mức kỷ lục 49%, tương đương 2,5 tỷ USD. Con số này gây bất ngờ vì công ty Hà Lan vẫn chưa bán mẫu EUV sang Trung Quốc và cũng chưa được phép bán thiết bị in thạch bản cực tím sâu DUV kể từ ngày 1/1.
- Hà Lan chi 2,7 tỷ USD để duy trì ASML
- Cỗ máy trị giá 380 triệu USD của ASML đạt cột mốc 'ánh sáng đầu tiên'
Biên tập lại từ VnExpress
