ASML ra mắt hệ thống in thạch bản sử dụng công nghệ khẩu độ số lớn, được cho là có khả năng định nghĩa lại ngành công nghiệp bán dẫn.
ASML, có trụ sở chính tại thị trấn Veldhoven, Hà Lan, ngày 9/2 đã công bố hình ảnh đầu tiên của hệ thống in thạch bản UV sử dụng công nghệ khẩu độ số lớn (High-NA EUV), giúp các công ty bán dẫn chế tạo chip có độ phức tạp chưa từng có.
Mỗi máy EUV NA cao trị giá 380 triệu USD (928,1 triệu đồng) và nặng khoảng 150 tấn, tương đương với hai máy bay chở khách Airbus A320. Người phát ngôn ASML Monique Mols cho biết quá trình vận chuyển, lắp đặt mỗi máy cần 250 thùng và 250 kỹ sư làm việc liên tục trong 6 tháng.
Trong bức ảnh đăng tải ngày 9/2, các kỹ sư ASML bên cạnh chiếc máy EUV High-NA. hình ảnh: ASML
Intel là khách hàng đầu tiên đã nhận được máy EUV High-NA vào cuối tháng 12 năm 2023 để triển khai tại nhà máy ở Oregon, Hoa Kỳ. Công ty có kế hoạch ra mắt dây chuyền sản xuất chip đầu tiên của hệ thống vào cuối năm 2025.
Quang khắc là một quá trình trong đó mẫu mạch được in lên bề mặt cảm quang của tấm bán dẫn silicon bằng cách chiếu ánh sáng lên tấm bán dẫn silicon thông qua một đĩa thủy tinh có mẫu mạch được vẽ sẵn. Mạch càng nhỏ thì càng cần nhiều bước sóng ánh sáng ngắn, trong đó EUV là sự phát triển hiện đại nhất hiện nay.
Khẩu độ cao hơn sẽ mở rộng chùm tia EUV bên trong máy trước khi nó tiếp xúc với chất nền silicon. Chùm tia càng rộng và cường độ cao thì càng nâng cao độ chính xác của mạch in và mật độ các thành phần trên đế silicon. ASML cho biết, so với dòng EUV trước đây, máy High-NA EUV có thể in các đường mạch có độ dày chỉ 8 nanomet, kích thước nhỏ hơn 1,7 lần và mật độ linh kiện cao hơn 2,9 lần.
Nhà phân tích bán dẫn Alan Priestley của Gartner cho biết máy High-NA EUV của ASML sẽ cho phép các nhà sản xuất chip tung ra các sản phẩm dựa trên quy trình dưới 3 nm. Những con chip hiện đại nhất thế giới chỉ mới đạt ngưỡng 3 nanomet gần đây.
Các nhà lãnh đạo ASML xác nhận rằng EUV khẩu độ số cao sẽ đóng một vai trò quan trọng trong lĩnh vực trí tuệ nhân tạo. Giám đốc điều hành Peter Wennink cho biết: “Công nghệ trí tuệ nhân tạo đòi hỏi khả năng lưu trữ và xử lý dữ liệu cực lớn. Nếu không có ASML và các sản phẩm chúng tôi phát triển, điều này sẽ không xảy ra. Trí tuệ nhân tạo sẽ là động lực to lớn cho hoạt động kinh doanh của chúng tôi”.
(dựa theo Reuters)
