Trung Quốc đang thúc đẩy hai máy khắc tự sản xuất được coi là “bước quan trọng” trong nỗ lực tự cung cấp công nghệ bán dẫn.
Theo danh sách các thiết bị quan trọng do Bộ Công nghiệp và Công nghệ thông tin Trung Quốc công bố cuối tuần trước, hai máy in thạch bản mới “đã đạt được những đột phá quan trọng về công nghệ và sở hữu quyền sở hữu trí tuệ, nhưng vẫn chưa được thương mại hóa”. Bộ Công nghiệp và Công nghệ thông tin không tiết lộ tên công ty đứng đằng sau nó nhưng cho biết họ sử dụng công nghệ in thạch bản tia cực tím sâu (DUV).
Một công nhân trên dây chuyền sản xuất chip của Trung Quốc ở tỉnh Giang Tô vào ngày 28/2/2023. hình ảnh: AFP
Cụ thể, bước sóng hoạt động của máy DUV là 193 nanomet (nm), độ phân giải dưới 65 nanomet và độ chính xác lớp phủ dưới 8 nanomet. Máy kia có bước sóng 248 nm, độ phân giải 110 nm và độ chính xác lớp phủ là 25 nm.
Dựa trên các thông số trên, cả hai máy vẫn thua xa các lựa chọn khác trên thị trường. Ví dụ: DUV tiên tiến nhất của ASML hoạt động ở độ phân giải dưới 38nm và độ chính xác xếp chồng 1,3nm. So với các mẫu in thạch bản cực tím (EUV), khoảng cách thậm chí còn lớn hơn khi sử dụng ánh sáng có bước sóng chỉ 13,5 nm, gấp gần 14 lần bước sóng DUV 193 nm mà Trung Quốc công bố.
Tuy nhiên, theo Bưu điện buổi sáng Nam Trung QuốcHiện nay, hai loại máy này vẫn là thành tựu lớn trong việc chế tạo thiết bị in thạch bản bán dẫn ở nước ta. Đất nước này đã nỗ lực hướng tới tự chủ về công nghệ bán dẫn trong nhiều năm, nhưng tiến bộ trong việc sản xuất hệ thống in thạch bản cho sản xuất chip tiên tiến vẫn còn chậm. Hiện nay, hầu hết các máy in thạch bản được sử dụng ở Trung Quốc đều là model DUV của ASML.
theo Chứng khoán hàng ngày, Trong những năm gần đây, Bắc Kinh đã dành nguồn lực đáng kể để thúc đẩy các công ty trong nước tập trung vào các lĩnh vực chiến lược bị Mỹ cấm vận. Thiết bị in thạch bản là một trong những mắt xích yếu nhất trong chuỗi cung ứng chất bán dẫn của Trung Quốc. Trên toàn cầu, lĩnh vực này được thống trị bởi hai công ty là ASML của Hà Lan và Tokyo Electronics của Nhật Bản.
Vẫn đang theo dõi thời gian toàn cầuTập đoàn Thiết bị Vi điện tử Thượng Hải (SMEE) hiện là niềm hy vọng lớn nhất của Trung Quốc trong việc phát triển các hệ thống khắc tiên tiến. Tuy nhiên, công ty vẫn tụt hậu so với các đối thủ toàn cầu và bị đưa vào danh sách đen thương mại của Hoa Kỳ vào tháng 12 năm 2022.
Đầu năm 2023, Bloomberg Giám đốc điều hành ASML Peter Wennink cảnh báo hành động của Mỹ có thể gây ra những hậu quả khó lường. Ông cho biết các biện pháp kiểm soát xuất khẩu do Washington khởi xướng có thể thúc đẩy Bắc Kinh phát triển công nghệ riêng cho thiết bị sản xuất chip tiên tiến.
- TSMC mua lại “siêu máy in thạch bản” ASML với giá 380 triệu USD
- Trung Quốc chỉ trích Hà Lan hạn chế xuất khẩu máy sản xuất chip
